冻干机（又称：真空冷冻干燥机）的真空泵大都使用两种泵,一种是油封式旋转真空泵,另一种是罗茨泵,又叫机械增压泵,有些冻干机使用一台双级旋片式真空泵,即能达到真空度的要求,有些冻干机使用一台单级油封泵加罗茨泵联合工作,两种方式使用效果基本相同。

      油封式真空泵应是高速直联的泵,它体积小,抽速大,而不应是皮带传动的真空泵,罗茨泵亦应是直联式的,而不应是皮带传动的,最好是液压传动式的,这种罗茨泵可在大气压下与油封式真空泵同时启动。有些冻干机要求使用无油真空泵。

      循环泵应该是屏蔽式的,因为它不会发生漏油现象,直联泵有油封,可能会产生漏油的情况。